Hitachi日立 S-3400N扫描电子显微镜

S-3400N扫描电子显微镜

产品介绍：

S­-3400N扫描电子显微镜 S-3400N具有最新开发的电子光学系统，强大的自动化功能，操作更简易。 特点: 1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、    自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。 2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。 3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。 4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品最高可达80mm。 5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。 6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效。 技术指标：  项目  描述  SE分辨率  3.0nm (30kV)，高真空模式   10nm (3kV), 高真空模式  BSE分辨率  4.0nm (30kV)，低真空模式  放大倍率  x5 ~ x300,000  加速电压  0.3 ~ 30 kV  低真空范围  6 ~ 270 Pa  最大样品尺寸  直径200mm  样品台            I型                              II型  X          0 ~ 80mm                          0 ~ 100mm  Y           0 ~ 40mm                          0 ~ 50mm  Z          5 ~ 35mm                          5 ~ 65mm  R             360º                              360º  T         -20º~ +90º                        -20º ~ +90º  最大样品高度       35mm (WD=10mm)                     80mm (WD=10mm)  驱动类型           手动                            五轴马达驱动  灯丝  预对中钨灯丝  物镜光栏  可移动式4孔物镜光栏  枪偏压  固定比例偏压、手动偏压和自动4偏  检测器  二次电子检测器  高灵敏度半导体背散射电子检测器  分析位置  WD=10mm, TOA=35o  控制  鼠标、键盘，手动旋钮  自动调校  自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦    消像散、自动亮度对比度